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淺述鐘罩爐的各組成部分作用

發布時間:2022-07-21   點擊次數:3136次

  鐘罩爐所提供的燒結窯爐的主要特性是高效率,其智能控制系統和其他設備構成了一個完整的功能單元,可充分滿足鐵氧體行業近乎藝術級的要求??梢愿鶕枰帉懞蛢Υ嫒魏蔚臏囟?氣氛曲線,來生產高質量的產品。除此以外還可以根據實際需要及時生產任何其他產品,從而縮短交貨期和降低成本。在燒結時僅僅需要少數操作人員,裝載和卸載可以在白天完成,而燒結可以在夜間完成,實現電力調峰,在當今電力緊張情況下,十分實用。


  目前設備可用于砷化鎵、硅以及其他半導體材料,離子注入后的退火、硅化物的形成、歐姆接觸制備以及快速氧化、快速氮化等方面。鐘罩爐主要由真空腔室、加熱室、進氣系統、真空系統、溫度控制系統、氣冷系統、水冷系統等幾部分組成的,下面咱們來了解下各組成部分的作用:


  1.真空腔室:真空腔室是其工作空間,晶圓在這里進行快速熱處理。


  2.加熱室:加熱室以多個紅外燈管為加熱元件,以耐高溫合金為框架、高純石英為主體。


  3.進氣系統:真空腔室尾部有進氣孔,控制的進氣量用來滿足一些特殊工藝的氣體需求。


  4.真空系統:在真空泵和真空腔室之間裝有高真空電磁閥,可以有效確保腔室真空度,同時避免氣體倒灌污染腔室內的被處理工件。


  5.溫度控制系統:溫度控制系統由溫度傳感器、溫度控制器、電力調整器、可編程控制器、PC及各種傳感器等組成。


  6.氣冷系統:真空腔室的冷卻是通過進氣系統向腔室內充入惰性氣體,來加速冷卻被熱處理的工件,滿足工藝使用要求。


  7.水冷系統:主要包括真空腔室、加熱室、各部位密封圈的冷卻用水。

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